メトラー・トレド、太陽電池効率最大化のための超純水品質管理5000TOCeを発表
メトラー・トレドは、超純水の品質管理機器5000TOCeを発表いたしました。ソーラーウエハーや太陽電池の製造では、そのクリーニングや洗浄のために、最高純度の水が必要です。最新の高精度な導電率およびTOC測定システムを採用した5000TOCeにより、微量イオンと有機体汚染の観点から、
超純水（UPW)の品質をリアルタイムでモニタリングすることができます。
太陽電池製造で使用される超純水
太陽電池の製造では、非常に高品質の超純水が大量に必要です。超純水は、未加工ウエハーがシリコンインゴットからカットされた後、表面テクスチャ化処理の後、蛍光拡散およびコーティングの前、そしてセル自身の組立中に洗浄に使用されます。
分配システム中と製造使用後の超純水の品質は、高精度の導電率測定とTOC測定により、インラインで監視されます。さらに、低汚染洗浄水をUPW処理システムで再利用するか、あるいは、他で使用（回収）するかは、これらの測定をもとに決定され、水処理にかかる不要な経費を大幅に削減できます。
高精度な導電率測定
1964年から、メトラー・トレド・ソーントンは、超純水分析の分野で成功を収め、純水および超純水に関する固有の比抵抗/導電率を測定するための最も精度の高い測定器を供給する企業として認知されています。ソーントンの製造プラントでは、導電率センサのセル定数は、特殊な自動ループ試験装置にて、わずか1％の最大誤差範囲によって決められています。ここでは、超純水が校正用の液体として使用され、UPWアプリケーションにおける実際の測定範囲にも対応します。さらに、セル定数は、一般的に認知されているASTMやNISTの標準規格でトレーサブルなものです。
最速のTOC測定
ソーントン5000TOCセンサは、現在、市場で最速の分析装置です。通常、7から15分の分析時間を要するバッチ式酸化プロセスのかわりに、5000TOCは、連続的UV酸化プロセスを採用しています。この方法は、高速であるだけでなく、ポンプなどの可動部品、化学薬品、気体透過膜などを使用していないためメンテナンスが非常に簡単です。UVランプのみ、定期的に交換する必要があります。0.025ppb TOCの検出限界値と1分未満の応答時間により、太陽電池および半導体業界で求められる要求仕様に対応可能です。
高い柔軟性
ソーントン770MAX変換器は、マルチチャンネル測定装置で複数のセンサの接続が可能、二つのアナログパルス入力と四つのスマートセンサ用チャンネルを装備しています。アナログパルス入力は、流量測定に利用されます。
製品のアップデート
5000TOCはアップグレードされ、現行製品は5000TOCeとなりました。ハードウェアとソフトウェアの改良により、新型モデルは以前のバージョンよりもさらに信頼性を向上させ、堅牢さに優れています。
まとめ
超純水の品質は、ソーラーウエハー、セル、およびモジュールの製品品質を決定する重要な要素です。最新の超純水分析システムは、導電率とTOCに関して必要とされる水質を提供し、そのモジュラー設計により、システム制御や品質管理にも幅広く応用できます。
詳しくはこちらでご確認ください。
www.mt.com/5000TOC
超純水（UPW)の品質をリアルタイムでモニタリングすることができます。
太陽電池製造で使用される超純水
太陽電池の製造では、非常に高品質の超純水が大量に必要です。超純水は、未加工ウエハーがシリコンインゴットからカットされた後、表面テクスチャ化処理の後、蛍光拡散およびコーティングの前、そしてセル自身の組立中に洗浄に使用されます。
分配システム中と製造使用後の超純水の品質は、高精度の導電率測定とTOC測定により、インラインで監視されます。さらに、低汚染洗浄水をUPW処理システムで再利用するか、あるいは、他で使用（回収）するかは、これらの測定をもとに決定され、水処理にかかる不要な経費を大幅に削減できます。
高精度な導電率測定
1964年から、メトラー・トレド・ソーントンは、超純水分析の分野で成功を収め、純水および超純水に関する固有の比抵抗/導電率を測定するための最も精度の高い測定器を供給する企業として認知されています。ソーントンの製造プラントでは、導電率センサのセル定数は、特殊な自動ループ試験装置にて、わずか1％の最大誤差範囲によって決められています。ここでは、超純水が校正用の液体として使用され、UPWアプリケーションにおける実際の測定範囲にも対応します。さらに、セル定数は、一般的に認知されているASTMやNISTの標準規格でトレーサブルなものです。
最速のTOC測定
ソーントン5000TOCセンサは、現在、市場で最速の分析装置です。通常、7から15分の分析時間を要するバッチ式酸化プロセスのかわりに、5000TOCは、連続的UV酸化プロセスを採用しています。この方法は、高速であるだけでなく、ポンプなどの可動部品、化学薬品、気体透過膜などを使用していないためメンテナンスが非常に簡単です。UVランプのみ、定期的に交換する必要があります。0.025ppb TOCの検出限界値と1分未満の応答時間により、太陽電池および半導体業界で求められる要求仕様に対応可能です。
高い柔軟性
ソーントン770MAX変換器は、マルチチャンネル測定装置で複数のセンサの接続が可能、二つのアナログパルス入力と四つのスマートセンサ用チャンネルを装備しています。アナログパルス入力は、流量測定に利用されます。
製品のアップデート
5000TOCはアップグレードされ、現行製品は5000TOCeとなりました。ハードウェアとソフトウェアの改良により、新型モデルは以前のバージョンよりもさらに信頼性を向上させ、堅牢さに優れています。
まとめ
超純水の品質は、ソーラーウエハー、セル、およびモジュールの製品品質を決定する重要な要素です。最新の超純水分析システムは、導電率とTOCに関して必要とされる水質を提供し、そのモジュラー設計により、システム制御や品質管理にも幅広く応用できます。
詳しくはこちらでご確認ください。
www.mt.com/5000TOC
【お問い合わせ先】
Mettler-Toledo, Inc.住所 1900 Polaris Parkway, Columbus, OH 43240-4035, USA
TEL +1 614 438 4511
FAX +1 614 438 4900
ウェブサイト http://japan.mt.com/jp/ja/home.html
Mettler-Toledo, Inc.のプレスリリース
